深耕薄膜沉积领域十余年，提供 PVD/CVD 腔体清洗、MOCVD 石墨盘清洗、LED/OLED 设备清洗及贵金属废料回收提纯一站式服务。九道标准工序，四道质检关卡，让清洗效果看得见、纯度数据可追溯。
从设备腔体精密清洗到贵金属废料回收提纯，覆盖半导体、LED、OLED、PV 全产业链需求
专业蒸镀、溅射遮掩板（Mask）清洗与喷砂表面处理，去除沉积膜层，恢复部件尺寸精度与表面洁净度。
金属残靶以旧换新，含贵金属废料回收及精炼，高纯金/银/铂提纯达 5N 及以上，不论含量形态均可回收。
真空零配件维修、腔体管件清洗再生，恢复设备性能，降低客户更换成本，缩短停机等待时间。
从来料检验到真空包装出库，每一步都有标准可依、有记录可查
接收待清洗部件
核对型号数量
检查表面状态
尺寸与损伤建档
专用化学试剂
软化剥离沉积层
精密喷砂去残余
恢复表面粗糙度
多频超声波
去除微粒达高洁净
无尘恒温烘干
防止水渍残留
Particle/粗糙度
膜厚多维检测
洁净室真空封装
隔绝二次污染
附检测报告
安全包装发货
专业精炼工艺与光谱分析检测，确保贵金属回收提纯达到半导体级标准
公司提供高纯金属的提纯加工服务，主要提供高纯金（Au）、银（Ag）、铂（Pt）的提纯服务，以上三种贵金属均可以达到 5N 及以上纯度。配备光谱测试仪等专业检测设备，从原料到成品全程可追溯。
覆盖薄膜沉积全流程产生的各类贵金属废料，形态不限、含量不限
蒸镀、溅射过程中产生的各类含贵金属金属废料，不论含量形态均可回收
金属残靶以旧换新，各类贵金属溅射靶材、蒸发靶材回收置换
蒸镀过程中使用的蓝膜、镀锅等耗材附着物回收，提取贵金属
蒸镀环、Sputter 载具、护板、接地板等使用后含沉积层部件回收
用真实对比说话——以下为不同材质部件清洗前后的效果差异（实际照片待替换客户供图）
经化学处理+喷砂+超声波多道工序，彻底去除蒸镀环表面多层金属沉积，恢复原始尺寸与表面状态。
针对 Sputter 设备后门大面积溅射沉积，采用定制化化学+喷砂工艺，恢复部件洁净度与表面一致性。
涵盖 Sputter 护板、接地板、接地圈、Coater 钟罩等多类铝合金部件，清洗后表面洁净、接地性能恢复。
服务半导体、LED、OLED、PV 光伏等行业，兼容多种零部件材质
PVD、CVD、ETCH 设备腔体及零配件精密清洗
MOCVD 石墨盘清洗、蒸溅镀设备零件清洗与维修
显示面板蒸镀设备腔体清洗，保障发光亮度与品质
光伏薄膜载具、护板及真空腔体清洗再生
配备多种精密检测仪器，从平坦度、膜厚、粗糙度到颗粒度和贵金属含量，每批清洗件均可出具检测数据
检测部件清洗后平面度与形变，确保尺寸精度满足装机要求
检测表面残余膜层厚度，确认清洗彻底、无沉积残留
验证喷砂后表面粗糙度参数，保障镀膜附着力与一致性
检测表面微粒残留数量，确保高洁净度满足半导体工艺要求